Lehrstuhl für Schaltungsentwurf
Technische Universität München (TUM) - Arcisstr. 21 - 80333 München

Feinmechanische Werkstatt des ZEITlab

Projektbezogener Versuchs- und Musterbau, individuelle Gerätereparatur

Bilder (zum Vergößern anklicken) Beschreibung
Schleusenkammer für Sputteranlage
Selbstbau einer Schleusenkammer für eine selbstentwickelte Sputteranlage mit Probenverfahrmechanismus
Explosionszeichnung
Probenpositionierung für Sputteranlage
Probenpositionierung für eine selbstgebaute konfokale Sputteranlage mit 5 Magnetrons (oben) und magnetischen Vakuumdrehdurchführungen (mittels Permanentmagnete erfolgt eine kontaklose Kraftübertragung auf die sich im Vakuum befindlichen Drehachsen zur Steuerung der Dreh- und Hubbewegung) (unten) vor dem Einbau
Explosionszeichnung
Probenpositionierung für Sputteranlage
in eingebautem Zustand
magnetische Vakuumschiebedurchführung
zum Probentransport von der Schleuse in die Prozeßkammer
Explosionszeichnung
ALD-Flow-Box
Flow-Box für eine ALD-Anlage
Wafer-Mounter
Hilfsgerät zum Aufkleben von Wafern auf die Trägereinheit beim Wafersägen
XY-Tisch
Selbstgebauter XY-Tisch für das Weitfeld Kerr-Mikroskop basierend auf einem Carl-Zeiss Axio-Imager
Schwingungsisolierter Tisch
Individuell im Eigenbau angefertigte schwingungsisolierte Tische für das Keyence-Mikroskop (links) und die Laserstrahllitographie (rechts)
Explosionszeichnung
Lackschleuder
Selbstbau einer Lackschleuder
Explosionszeichnung
FMR-Meßplatz
Selbstbau eines Meßplatzes zur Bestimmung magnetischer Bauteileigenschaften
Objektivmodifikationen
spezielle Objektivmodifikationen
Teflonprobenhalter
Individuell angefertigte Probenhalter aus Teflon zur chemischen Probenpräparation
Versuchsaufbau für Biegeversuche
Individuell angefertigter Versuchsaufbau für Biegeversuch an Halbleiterproben zu Bestimmung mechanischer Kenngrößen
Probenhalter
Verschiedene Probenhalter für die Gatan-Sputteranlage
Probenhalter
Verschiedene Probenhalter für das SEM
Mikroplasmaschweißanlage
Im Rahmen der Fertigung steht eine Mikroplasmaschweißanlage zu Verfügung